Persyaratan untuk ruang bersih di industri semikonduktor

Persyaratan untuk ruang bersih di industri semikonduktor adalah sebagai berikut:
1. Persyaratan kebersihan tinggi
Manufaktur semikonduktor membutuhkan lingkungan bersih yang sangat ketat. Kebersihan udara di ruang bersih bervariasi tergantung pada persyaratan dari proses semikonduktor yang berbeda, umumnya memenuhi standar Kelas 1 (sama dengan atau kurang dari 1 partikel 0,1 mikron per kaki kubik) hingga Kelas 100 (sama dengan atau kurang dari 100 partikel 0,5 mikron per kaki kubik).
2. Kontrol suhu dan kelembaban yang akurat
Material semikonduktor sangat sensitif terhadap suhu dan kelembaban. Ruang bersih perlu dikontrol secara ketat pada suhu 20-25 °C, dengan rentang kelembaban relatif 40-60% dan fluktuasi tidak melebihi ± 1 °C dan ± 5% RH.
3. Pasokan dan distribusi daya yang andal dan stabil
Ruang bersih memerlukan sistem pasokan dan distribusi daya khusus untuk menyediakan pasokan daya yang stabil dan berlebihan, memastikan pengoperasian peralatan proses yang normal dan tanpa gangguan. Pada saat yang sama, perlu memiliki fungsi perlindungan dan penyaringan untuk mencegah gangguan daya.
4. Aliran udara bebas debu yang masuk akal
Ruang bersih perlu dilengkapi dengan sistem filtrasi dan sirkulasi udara bebas debu untuk memastikan distribusi aliran udara yang masuk akal dan tidak ada sudut mati, sehingga udara bersih dapat sepenuhnya mencapai setiap sudut. Kecepatan aliran udara dan tekanan udara juga harus dikontrol secara ketat untuk mencegah udara eksternal mengalir kembali atau mengganggu.
5. Desain seismik yang lengkap
Mempertimbangkan persyaratan stabilitas dari proses semikonduktor, ruang bersih biasanya perlu mengadopsi tindakan tahan guncangan untuk mengurangi dampak getaran eksternal pada proses. Fondasi harus cukup stabil dan dilengkapi dengan perangkat penyangga.
6. Pemilihan material bebas debu dan bebas polusi
Material permukaan ruang bersih harus bebas debu dan bebas polusi, dan tidak akan menghasilkan partikel. Baja tahan karat, pelat aluminium, kaca temper, dan material lainnya umumnya digunakan. Tirai udara perlu dipasang di pintu masuk untuk mencegah debu masuk.